Trong sản xuất mạch tích hợp quy mô lớn, sau mỗi giai đoạn, nó phải được rửa sạch bằng nước. Bởi vì khi thực hiện vi chế độ micron, cần tránh tiếp xúc với các tạp chất sẽ làm giảm hiệu suất của chất bán dẫn và để ngăn chặn các tạp chất xâm nhập vào ống dẫn khí. Để đạt được mục tiêu này, nước được sử dụng để xả phải được tinh chế và chuẩn bị nghiêm ngặt bằng máy nước siêu tinh khiết.
Nước siêu tinh khiết cần thiết trong sản xuất các mạch tích hợp quy mô lớn không thể thu được từ thiên nhiên và phải được chuẩn bị bằng máy nước siêu tinh khiết hoặc các phương pháp khác. Việc tinh chế nước siêu tinh khiết được chia thành xử lý nước tinh khiết và xử lý nước tinh khiết thứ cấp. Nói chung, việc xử lý tập trung nước tinh khiết được cung cấp cho mỗi xưởng bởi máy nước siêu tinh khiết Smart-S là xử lý nước tinh khiết, và việc xử lý được thực hiện bởi mỗi xưởng là xử lý nước tinh khiết thứ cấp.
Nguồn nước được tinh chế bằng máy nước siêu tinh khiết bao gồm nước máy đô thị, nước công nghiệp, nước sông, nước ngầm, nước giếng, v.v. Việc tiền xử lý như lọc nên được thực hiện theo bản chất của nguồn nước và nước, và sau đó nên sử dụng màng thấm và trao đổi ion. Màng loại bỏ hệ thống treo mịn và các chất hòa tan trong đó làm ví dụ để có được chất lượng nước cần thiết trong sản xuất các mạch tích hợp. Nước tinh khiết được chuẩn bị bởi máy nước siêu tinh khiết đã rất sạch, nhưng rất dễ hòa tan các chất khác. Do đó, trong quá trình lưu trữ và vận chuyển, bạn phải cẩn thận để không bị ô nhiễm lại.
Để đảm bảo rằng chất lượng nước đáp ứng đầy đủ các yêu cầu, tinh chế là cần thiết tại địa điểm sử dụng, nghĩa là xử lý nước tinh khiết thứ cấp của máy nước siêu tinh khiết. Thiết bị xử lý nước tinh khiết thứ cấp được lắp đặt trong hoặc gần phòng siêu sạch nơi sản xuất các thiết bị bán dẫn. Máy nước siêu tinh khiết Smart-S cần thiết để xử lý nước tinh khiết thứ cấp bao gồm thiết bị khử trùng bằng tia cực tím, thiết bị trao đổi ion cassette không tái tạo, bộ lọc vi mô và bộ lọc màng siêu lọc, v.v., sau một loạt các chế phẩm nghiêm ngặt như vậy Nước siêu tinh khiết thu được có thể đáp ứng nhu cầu về nước trong sản xuất mạch tích hợp.
